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光刻機(jī)和蝕刻機(jī)有什么區(qū)別？
這樣的答題必須要有專(zhuān)業(yè)的人才懂，高端芯片制作工藝光刻和蝕刻機(jī)這不是誰(shuí)都懂的，你也許是專(zhuān)業(yè)行家，本人是搞染料化工的，相差十萬(wàn)八千里，那就等于是我問(wèn)你核潛艇的主要結(jié)構(gòu)，你能回答嗎？邀人答題那也要看看邀請(qǐng)對(duì)像才行。還連續(xù)邀請(qǐng)，這不是強(qiáng)人所難嗎？再見(jiàn)！
最近中興事件作為導(dǎo)火索，引發(fā)了國(guó)人關(guān)于芯片討論，其中不免涉及到了芯片制造業(yè)兩大至關(guān)重要的技術(shù)，蝕刻機(jī)和光刻機(jī)，作為一個(gè)業(yè)余愛(ài)好者，我為大家分享一下我知道的東西。
什么是光刻機(jī)光刻機(jī)作為制造芯片的核心裝備之一，因?yàn)橛猛镜牟煌譃樯a(chǎn)芯片的光刻機(jī)，用于封裝的光刻機(jī)，還有LED領(lǐng)域的投影光刻機(jī)，目前主要討論的是用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)，這也是芯片領(lǐng)域，我國(guó)最薄弱的環(huán)節(jié)。
先了解一下光刻中必須要用的東西——光刻膠，簡(jiǎn)單的來(lái)說(shuō)這種膠狀物，只能被光腐蝕，而不能被化學(xué)物質(zhì)腐蝕，制造芯片時(shí)講光刻膠涂在金屬表面，然后用光把不需要的地方腐蝕掉，制作出自己需要的圖形（電路結(jié)構(gòu)之類(lèi)的），接下來(lái)就該蝕刻機(jī)上場(chǎng)了。
什么是蝕刻機(jī)蝕刻分為兩類(lèi)，一類(lèi)是干刻，一類(lèi)是濕刻（目前主流），濕刻就是特定的化學(xué)溶液與上個(gè)部分光刻機(jī)制作后的薄膜發(fā)生反應(yīng)，發(fā)生反應(yīng)過(guò)后剩下的東西，就是需要的東西了，這個(gè)過(guò)程有液體接觸，所以叫濕刻。
干刻更加高級(jí)，目前并沒(méi)有大規(guī)模應(yīng)用，它是通過(guò)等離子電漿去除未覆蓋的薄膜。
光刻機(jī) ASML一枝獨(dú)秀以前光刻機(jī)領(lǐng)域還有佳能尼康制衡ASML，不過(guò)隨著技術(shù)差距越來(lái)越多，目前高端光刻機(jī)市場(chǎng)被ASML壟斷，7nm級(jí)別光刻機(jī)17年的產(chǎn)量只有12臺(tái)，一臺(tái)1.2億美元，還要提前21個(gè)月預(yù)訂，中國(guó)就算排隊(duì)，也不知道哪年買(mǎi)得到，背地里還有有些國(guó)家作怪，目前國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還處于90nm階段，任重道遠(yuǎn)。
五大蝕刻機(jī)廠商 中微是其一目前能生產(chǎn)7nm級(jí)別蝕刻機(jī)的有應(yīng)用材料，科林研發(fā)，東京威力科創(chuàng)，日立先端，中微半導(dǎo)體五家公司，中微是唯一一家中國(guó)企業(yè)，并且已經(jīng)開(kāi)始向臺(tái)積電供貨，中微也代表著中國(guó)頂尖的半導(dǎo)體技術(shù)。
中國(guó)半導(dǎo)體起步晚，需要走的路還很長(zhǎng)，不過(guò)中國(guó)人最不缺的就是毅力，只有堅(jiān)持不懈方能厚積薄發(fā)。其實(shí)從字面表面意思就能看出來(lái)，無(wú)論是這兩個(gè)其中的哪種機(jī)器，用在芯片制造上都有很大的幫助，也是芯片制造的主要方式。隨著時(shí)間的推進(jìn)，現(xiàn)在的光刻技術(shù)出現(xiàn)兩種趨勢(shì)，一個(gè)是光刻機(jī)，一種是蝕刻機(jī)。
那么這兩種有什么區(qū)別呢？光刻機(jī)是芯片制造行業(yè)的主要載體。他的工作原理是在硅片上涂上一層均勻的光刻膠，然后利用紫外線照在上面，其中還包含了編碼，把需要刻制的東西編碼完成，用光刻技術(shù)刻到上面。從而達(dá)到保存的效果。光刻機(jī)上面是光照部，中間是掩膜版，最后是需要刻制的載體。
光刻機(jī)發(fā)展至今，目前已經(jīng)有了很多種形式，但工作原理大同小異，沒(méi)什么區(qū)別。而且國(guó)內(nèi)現(xiàn)在已經(jīng)有了自主產(chǎn)權(quán)，發(fā)展前景很不錯(cuò)。
蝕刻機(jī)與光刻機(jī)比起來(lái)就有些粗糙了，他是直接把內(nèi)容刻在載體上，對(duì)載體表面進(jìn)行侵蝕從而達(dá)到刻錄的目的。目前國(guó)內(nèi)的蝕刻機(jī)有兩種，干刻和濕刻，但是工作原理都相同，利用離子與電壓的結(jié)合，達(dá)到刻錄的目的。
總的來(lái)說(shuō)，兩種刻制方式都是主流的形式，如果選擇的話完全是根據(jù)自己的需求。只能說(shuō)兩種都不會(huì)讓人失望。
